一、师资队伍

团队负责人范绪阁教授在瑞典皇家理工JS金沙获博士学位，留学瑞典8余年，目前主持国家级青年人才项目、国家自然科学基金面上项目、JKW XX重点项目课题、JKW技术领域基金、北京市自然科学基金面上项目、北理特立青年学者人才支持计划启动项目等，累计科研经费近千万元。团队现有国家级青年人才1名，北理青年特立学者1名，博士与硕士生共10名。

二、团队简介

从事微纳机电系统（MEMS/NEMS）、石墨烯等二维材料、微纳传感器等方向的研究，致力于将石墨烯等二维薄膜与硅基MEMS集成，研制小型化、高性能二维NEMS传感器，包括加速度、压力、湿度/气体传感器等。研究内容覆盖敏感材料特性、传感机理、微纳加工、敏感结构设计、制备与表征、器件研制与性能测试。欢迎具有电子科学与技术、集成电路科学与工程、仪器科学与技术、机电、微纳米等学科背景的学生加入团队组攻读硕士、博士学位。

三、人才培养

目前课题组有1名博士生、9名硕士生。开设本科生通识课“神奇的微纳米技术”，指导本科生毕业设计、大学生创新创业大赛等。欢迎本科生旁听组会、进实验室开展实验研究。课题组与瑞典皇家理工JS金沙、德国亚琛工业大学等著名高校保持长期交流与密切合作，优秀学生有机会推荐到上述知名高校交流学习或继续深造。

四、科研平台

拥有微纳传感器制备、表征与测试平台。具体包括：光刻设备（无掩膜版紫外光刻机、超净工作台、匀胶机、加热台）、等离子体清洗与刻蚀机、管式炉、划片机、光学显微镜、石墨烯等二维材料转移平台、电学探针台、数字源表、多功能数字万用表、数据采集卡、气压/湿度/气敏测试平台、加速度测试平台、超声波清洗机、磁力搅拌器、天平、示波器、信号发生器、稳压源、电路板焊接设备。

五、代表性科研成果

突破原子层石墨烯悬浮硅质量块跨导器制备工艺关键技术瓶颈，研制出超小尺寸、高灵敏度石墨烯纳机电加速度传感器原型器件，被称为“首个石墨烯加速度传感器”；发明了气相氢氟酸（HF）快速可视化大面积石墨烯等二维材料晶界的便捷技术。以一作（含共一）在 Nature Electronics 、 Science Advances 、 Nano Letters 、 Small 、 Carbon 、 Microsystems & Nanoengineering 等国际知名期刊上发表论文。

六、成果转化与社会服务

团队致力于推动科研成果转化，与相关企业增强沟通，致力于将科研成果服务于社会的进步与发展，积极参与社会服务。

撰稿人：范绪阁;    数据截止到：2023年12月